嚣哥很喜欢巧克力金币和金字塔。所以他很喜欢「巧克力金币金字塔」。

一个「巧克力金币金字塔」可以被想成一个大小为 $N$ 的（指数从0开始的）阵列 $a$，第 $i$ 层有 $a_i$ 个巧克力金币。 基于美观的考虑，每一层的金币数量需是前一层的金币数量的因数。仔细地来说，对于所有 $1 \le i \lt n$，$a_i | a_{i-1}$ 需被满足。

可是，嚣哥的男朋友认为满足 $L \le a_0 \le R$ 的巧克力金币金字塔会更加美。你能帮嚣哥找出独特的巧克力金币金字塔的数量，且同时满足他和他们的要求吗？由于答案可能会很大，请取模$10^9 + 7$。

输入格式

输入第一行是用一个空格隔开的三个整数 $ N， L，R $。

输出格式

输出一个整数表示独特的巧克力金币金字塔的数量对 $10^9+7$ 取模的结果。

数据范围

对于所有测试点: $1 \le N \le 10^{18}$, $1 \le L \le R \le 10^6$
测试点 1-2: $N \le 6$, $R \le 9$
测试点 3-5: $N \le 10^3$, $R \le 10^3$
测试点 6-10: $N \le 10^6$
测试点 10-15: $L = R$
测试点 16-20: 没有额外的限制